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（1）氧化能力强 O3高氧化产生的·OH是种强的化学氧化剂，除氟外，臭氧的氧化能力要大大高于普通化学氧化剂。
（2）反应速率大
（3）选择性小 O3会优先与反应速度快的物质进行反应，而·OH与不同有机物反应速率常数相差较小，选择性很小，不会出现种物质得到降解而另种物质几乎没有反应。
（4）寿命短 羟基自由基·OH是O3高氧化过程中生成具有高度活性的中间产物，虽然不同环境其存在时间有定差别，但般都小于10-4s。
（5）处理效率高、不产生二次污染 尽管·OH的寿命较短，因其反应速率常数大、氧化能力强，处理效率高。不产生三副产物。
